400-666-4000 0755-26983668
| EN
直驅(qū)電機(jī)四軸平臺(tái)應(yīng)用于PVD去膜機(jī)
直驅(qū)電機(jī)四軸平臺(tái)應(yīng)用于PVD去膜機(jī)
X軸和Y軸為平板直線電機(jī),Z軸為伺服電機(jī)平臺(tái),第四軸為可360°旋轉(zhuǎn)的力矩電機(jī)
X軸、Y軸重復(fù)定位精度2um,X-Y垂直度0.01mm,Z-Y垂直度0.03mm,負(fù)載面-Y平行度0.03mm
直線電機(jī)雙驅(qū)平臺(tái)應(yīng)用于激光切割機(jī)床
直線電機(jī)雙驅(qū)平臺(tái)應(yīng)用于激光切割機(jī)床
重復(fù)定位精度±1 um, 絕對(duì)定位精度5um,走圓弧插補(bǔ),圓度精度5um(軌跡 ?6)
雙層防護(hù)結(jié)構(gòu),有效保護(hù)直線電機(jī)平臺(tái)內(nèi)部零部件不受激光切割粉塵影響