2022-04-27 X軸和Y軸為平板直線電機(jī)，Z軸為伺服電機(jī)平臺(tái)，第四軸為可360°旋轉(zhuǎn)的力矩電機(jī)
X軸、Y軸重復(fù)定位精度2um，X-Y垂直度0.01mm，Z-Y垂直度0.03mm，負(fù)載面-Y平行度0.03mm
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